تشتت الأشعة السينية ذات الزاوية الصغيرة هو التشتت المنتشر للإلكترونات إلى الأشعة السينية في نطاق الزاوية الصغيرة بالقرب من الحزمة الأصلية. يحدث تشتت الزاوية الصغيرة في جميع المواد ذات الكثافة الإلكترونية غير المنتظمة على مقياس النانومتر.

يستخدم حيود الأشعة السينية ذات الزاوية الصغيرة (ساكسد) بشكل أساسي لتحديد المسافات بين الوجوه البلورية الكبيرة جدًا أو بنية الأغشية الرقيقة.

تشتت الأشعة السينية ذات الزاوية الصغيرة (ساكسس) عبارة عن تقنية تجمع الإشارات المتناثرة الناتجة عن مرور الأشعة السينية عبر عينة لدراسة المعلومات الهيكلية للعينة في نطاق 1 ~ 100 نانومتر.

مقياس حيود الأشعة السينية هو جهاز يستخدم مبدأ التفاعل بين الأشعة السينية والمواد للحصول على معلومات مثل التركيب البلوري وثابت الشبكة للمواد عن طريق قياس زاوية حيود وشدة الأشعة السينية في المواد.