حدوث الرعي يعني أنالأشعة السينيةيتم تعريضه للفيلم بزاوية حدوث صغيرة جدًا (&لتر;5°)، مما يقلل بشكل كبير من عمق الاختراق في الفيلم. وفي الوقت نفسه، تزيد زاوية الإصابة المنخفضة الأكبر من مساحة تشعيع الأشعة السينية على العينة وتزيد من حجم العينة المشاركة في الحيود. تم تقديم دور دائرة المخابرات العامة في التحليل الهيكلي للأغشية الرقيقة في هذه الورقة.

مثال: اختبار دائرة المخابرات العامة للفيلم أحادي الطبقة

في هذا المثال، العينة عبارة عن فيلم متعدد البلورات RuO2 مقاس 14 نانومتر تم إعداده على (100) ركيزة من السيليكون أحادي البلورية. ولذلك، فإن إشارة عينة الفيلم الرقيق في التقليديةزرديتم إخفاء النمط بإشارة بلورة سي المفردة. على الرغم من أنه يمكن رؤية قمم الحيود للفيلم الرقيق في الصورة المكبرة، إلا أن الإشارة ضعيفة جدًا. يظهر في الشكل 2 طيف دائرة المخابرات العامة للعينة عند زاوية عرضية قدرها 0.3 درجة. لا توجد إشارة للركيزة البلورية المفردة سي في الشكل، وإشارة الفيلم واضحة.&نبسب;

&نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; رسم بياني 1

&نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; &نبسب; الصورة 2