ال ملحق قياس متكامل متعدد الوظائف يكون تُستخدم لتحليل الأفلام على الألواح والكتل والركائز، ويمكنها إجراء اختبارات مثل اكتشاف طور البلورة والتوجيه والملمس والإجهاد والبنية داخل المستوى للأفلام الرقيقة.

الخصائص الوظيفية لـملحقات القياس المتكاملة متعددة الوظائف:

إجراء اختبار الرسم التخطيطي القطبي باستخدام طرق النقل أو الانعكاس؛

يمكن إجراء اختبار الإجهاد باستخدام طريقة الإمالة الموازية أو طريقة الإمالة نفسها؛

اختبار الأغشية الرقيقة (دوران العينات في المستوى)

مجالات التطبيقملحقات القياس المتكاملة متعددة الوظائف:

تقييم هياكل التجميع المعدنية مثل الصفائح المدلفنة؛

تقييم التوجه السيراميكي؛

تقييم اتجاه أولوية البلورة في عينات الأغشية الرقيقة؛

اختبار الإجهاد المتبقي لمختلف المواد المعدنية والسيراميكية (تقييم مقاومة التآكل ومقاومة القطع وما إلى ذلك)؛

اختبار الإجهاد المتبقي للأفلام متعددة الطبقات (تقييم تقشير الفيلم، وما إلى ذلك)؛

تحليل الأكسدة السطحية وأغشية النتريد على المواد الفائقة التوصيل ذات درجات الحرارة العالية مثل الأغشية الرقيقة والألواح المعدنية؛

الزجاج سي، تحليل الأفلام متعددة الطبقات على ركائز معدنية (الأفلام الرقيقة المغناطيسية، أفلام تصلب السطح المعدني، وما إلى ذلك)؛

تحليل مواد الطلاء الكهربائي مثل المواد الجزيئية الكبيرة والورق والعدسات.

المواصفات الفنية لـملحقات القياس المتكاملة متعددة الوظائف:

الحد الأدنى لمسافة خطوة المحور ألفا (الميل): 0.001 درجة/خطوة، النطاق الديناميكي: - 45 درجة - 90 درجة      

الحد الأدنى لخطوة المحور β (الدوران): 0.001 درجة/خطوة، النطاق الديناميكي: 0 درجة -360 درجة

الحد الأدنى لمسافة الخطوة على المحور z: 0.001 درجة/خطوة، النطاق الديناميكي: 0-10 مم

حجم العينة: الحد الأقصى للقطر 100 مم، سمك قابل للتعديل