تسمى الظاهرة الفيزيائية للتشتت المتماسك للأشعة السينية على البلورة بالحيود، حتى لو حدثت بزاوية منخفضة. على سبيل المثال، إذا كانت قيمة إعلان الطور 31.5A والحيود المقابل 2.80° (النحاس-Kα)، فإن الذروة 31.5A لا تزال حادة جدًا إذا كان الطور يتمتع بدرجة عالية من التبلور. يمكن أيضًا إنتاج الأغشية الرقيقةحيود الأشعة السينيةمركزة في نطاق زاوية صغير اعتمادًا على سمك الفيلم وبنيته المجهرية. في هذه الحالات، تأتي شدة تناثر الأشعة السينية ذات الزاوية الصغيرة للعينة بشكل أساسي من حيود العينة، وهو ما يسمى حيود الأشعة السينية الزاوي.

يتسبب تشعيع الأشعة السينية لجزيئات المسحوق متناهية الصغر أيضًا في ظاهرة التشتت المتماسك، والتي تحدث أيضًا في المنطقة ذات الزاوية المنخفضة. ومع ذلك، فإن سمات نمط التشتت المتماسك الذي تنتجه الجسيمات الدقيقة تختلف تمامًا عن سمات الزاوية الصغيرةالأشعة السينيةنمط الحيود الناتج عن تباعد الوجه البلوري الكبير أو الغشاء الرقيق أعلاه.

زاوية صغيرةالانحراف يستخدم بشكل عام لتحديد المسافات بين الوجوه البلورية الكبيرة جدًا أو سمك الأغشية الرقيقة، بالإضافة إلى البنية الدورية الدقيقة للأغشية الرقيقة وتوزيع الثقوب الدورية.&نبسب;