HRXRD قوياختبار غير مدمرالطريقة، وأهدافها البحثية هي بشكل أساسي مواد بلورية مفردة، ومواد أغشية رقيقة فوقية بلورية مفردة، ومختلف الهياكل المتغايرة لأشباه الموصلات منخفضة الأبعاد. يتم استخدامه على نطاق واسع لقياس جودة البلورة المفردة وسمكها ومعلمات الخلية والمعلمات الهيكلية الأخرى للأفلام الفوقي.

يتم استخدام مسح ثيتا / أوميغا للكشف عن التشتت المتماسك للطبقات الذرية الموازية للسطح ويمكن استخدامه لتحديد تكوين معلمات الخلية خارج المستوى والسمك والمعلمات الأخرى.

نمط المسح 2 ثيتا / أوميغا لـ الجاليوم (0002)كريستالوجه

قمم متأرجحة واضحة للشبكة الفائقة وأطراف تداخل الأغشية الرقيقة بين قمم الشبكة الفائقة.

آر إس إم هي طريقة بديهية لتحليل عدم التطابق بين الأغشية الرقيقة والركائز وعيوب الأغشية الرقيقة. حديثالموارد البشريةزرديمكن أن يؤدي استخدام أجهزة الكشف 1D إلى تحسين سرعة الاختبار بشكل كبير، حيث يستغرق الحصول السريع على آر إس إم عشرات الثواني فقط.

الصورة هي نتيجة لتركيب كامل الطيف لمسح 2 ثيتا / أوميغا. ويمكن ملاحظة أن الخريطة المناسبة تتفق جيدًا مع بيانات الاختبار. يعد محتوى في معلمة مهمة في عملية النمو. لذلك يعد HRXRD أداة قوية لمراقبة عملية الترسيب.