المرحلة عينة متعددة الوظائفهي معدات تجريبية متكاملة للغاية تُستخدم بشكل أساسي في مجالات علم المواد، وتصنيع أشباه الموصلات، وتحليل المجهر الإلكتروني، وما إلى ذلك. وتتمثل ميزاتها الأساسية في التصميم المعياري، والتكامل متعدد الوظائف، والتحكم عالي الدقة.

واحد، الوظائف الأساسية والخصائص البنيوية لـمرحلة عينة متعددة الوظائف

1. التصميم المعياري لـمرحلة عينة متعددة الوظائف:

يتم تحقيق وظائف متعددة من خلال مجموعات وحدات مختلفة، مثل وحدة اقتران الدوران الذاتي (سرعة 0 ~ 20 دورة في الدقيقة، مع حد صفر)، وحدة الرفع (الشوط القياسي 50 مم / 100 مم، قابلة للتخصيص)، وحدة التسخين (أقصى درجة حرارة تصل إلى 1100 درجة مئوية)، إلخ.

يدعم اتصال مصدر الطاقة دي سي/التردد اللاسلكي لتلبية احتياجات نمو الفيلم الرقيق، أو تنظيف العينة، أو تكوين الفيلم المساعد.

2. التحكم عالي الدقة وأجهزة الاستشعار لـمرحلة عينة متعددة الوظائف:

مجهزة بمستشعرات درجة الحرارة والضغط وأجهزة استشعار أخرى، ومراقبة معلمات البيئة الخاصة بالعينة في الوقت الفعلي، وضبط عمليات التدفئة والتبريد وغيرها من العمليات من خلال نظام التحكم.

تتضمن بعض الموديلات وحدات حاجز هوائية لسهولة التشغيل.

3. التوافق والقدرة على التكيفمرحلة عينة متعددة الوظائف:

مناسب لاختبار العينات غير المنتظمة مثل مساحيق الأثر، والمواد الورقية، والعينات كبيرة الحجم، وتجنب الضرر الناجم عن القطع أو الطحن التقليدي.

يدعم أحجام العينات أقل من 6 بوصات وواجهات الشفة القابلة للتخصيص.

اثنين، مجالات تطبيق حامل العينات متعدد الوظائف

1. تكنولوجيا الأغشية الرقيقة لـمرحلة عينة متعددة الوظائف:تستخدم في تقنيات نمو الأغشية الرقيقة المتقدمة مثل عضو الإمبراطورية البريطانية (ترسيب الحزمة الجزيئية)، وPLD (ترسيب الليزر النبضي)، والرش المغناطيسي، بالإضافة إلى التلدين على الركيزة، وإزالة الغازات في درجات الحرارة العالية وغيرها من العمليات.

2. تحليل المجهر الإلكتروني لمرحلة العينة متعددة الوظائف:

مجهر مسح إلكتروني في المجال البارد: قم بتثبيت العينة باستخدام مسامير طويلة واضبط الموصلية باستخدام غسالات نحاسية متوافقة.

نظام تيم/فيب: يدمج عملية الترقق في الموقع، واختبار المسبار النانوي، وتحليل تيم لتجنب التلوث أو الضرر الناجم عن نقل العينة.

3. تحليل فشل مرحلة العينة متعددة الوظائف: دمج عمليات تجريد الموقع الذري والاختبار الكهربائي والتحليل في أنظمة فيب و تيم لتحسين معدل النجاح والكفاءة.

ثلاثة، المزايا التقنية لـمرحلة عينة متعددة الوظائف

1. دمج وأتمتة مرحلة العينة متعددة الوظائف: يقلل من تعقيد التشغيل اليدوي من خلال التصميم المعياري، ويدعم الحركة الشاملة والتحديد الدقيق في بيئة الفراغ.

2. موثوقية عالية لمرحلة العينة متعددة الوظائف: استخدام واجهات الشفة القياسية (مثل سي اف 50 / سي اف 40) لضمان الختم والتوافق.

3. تخصيص طاولة العينة متعددة الوظائف: يمكن تحديد مادة التسخين وطول الشوط ونوع حامل العينة (مثل نوع حربة 3 فك، نوع الشوكة السفلية) وفقًا للاحتياجات.

بشكل عام، تُعد منصة العينات متعددة الوظائف جهازًا أساسيًا لأبحاث المواد والتحليلات الدقيقة، وتُستخدم عادةً في أجهزة حيود الأشعة السينية. تكمن قيمتها في تكاملها الوظيفي، ومرونتها التشغيلية، وقدرتها على التكيف مع المتطلبات التجريبية المعقدة. يجب أن يتوافق اختيار الوحدات ومعايير الأداء المناسبة مع سيناريوهات التطبيق الفعلية (مثل تقنية الأغشية الرقيقة، وتحليل المجهر الإلكتروني، وتحليل الأعطال).