تشتمل المكونات الأساسية لمقياس حيود الأشعة السينية على مولد الأشعة السينية وكاشف الأشعة السينية. عندما يتم توجيه الأشعة السينية الساقطة على سطح العينة، يتم وضع كاشف الأشعة السينية وفقًا لقانون الحيود لتسجيل شدة وزاوية الحيود θ في نفس الوقت. الطائرة البلورية حيثحيود الأشعة السينيةيحدث دائمًا بالتوازي مع سطح العينة.
من المهم ملاحظة أن مصدر الأشعة السينية الناتج عن مولد X يصدر عددًا كبيرًا من الأشعة السينية ذات أطوال موجية مختلفة. ولذلك، من أجل ضمان دقة القياس، الحديثةمقياس حيود الأشعة السينيةغالبًا ما يتم دمج أجهزة أحادية اللون أو مرشحات بين العينة وكاشف الأشعة السينية للحصول على أنماط حيود عالية الجودة.
يتأثر اختيار الطول الموجي للأشعة السينية بشكل كبير بالمادة المستهدفة لمولد الأشعة السينية، مع الأهداف شائعة الاستخدام بما في ذلك النحاس وCo وFe وCr وMo وW. هدف النحاس مناسب على نطاق واسع لمعظم العينات باستثناء تلك يحتوي على النحاس والحديد بسبب ثباته وتوافقه العالي. لاختبار عينات الحديد، يوصى باستخدام هدف شركة باستخدام جهاز أحادي اللون وهدف الحديد باستخدام عامل تصفية. يوفر هدف سجل تجاري أيضًا توافقًا ممتازًا لاختبار معظم العينات. يعد هدف شهر مناسبًا بشكل خاص للتحليل الكمي للأوستينيت نظرًا لطوله الموجي المحدد. وأخيرًا، يوفر هدف W استمرارًاالأشعة السينيةالكثافة وغالبًا ما تستخدم في تصوير لاو للبلورات المفردة.