لقد دخل الإنفاق العالمي على معدات أشباه الموصلات في دورة تصاعدية. إن تطبيق التقنيات الجديدة والمنتجات الجديدة مثل الجيل الخامس (5G) وإنترنت الأشياء والبيانات الضخمة والذكاء الاصطناعي وإلكترونيات السيارات سيجلب طلبًا ضخمًا في سوق أشباه الموصلات، وستدخل الصناعة في جولة جديدة من الدورة الصاعدة. يرتبط إنتاج الرقائق والنمو الفوقي والتعبئة والتكامل في الواجهة الأمامية لسلسلة الصناعة بأكملها، وعملية وجودة المنتج بشكل مباشر بتطبيقات الصناعة النهائية. ريجاكو لديها نظام كامل من المعدات، مثلحيود الأشعة السينية(زرد)، مضان الأشعة السينية (XRF)، مقياس انعكاس الأشعة السينية (XRR) وتضاريس الأشعة السينية (XRT)، والتي يمكن تطبيقها على العملية برمتها بدءًا من إنتاج الرقاقات وحتى الدوائر المتكاملة، ويمكن قياسها بشكل غير مدمر لعدد من معلمات العملية الرئيسية: مثل السُمك ، التركيب، الخشونة، الكثافة، المسامية، كذلكالهيكل البلوريوعيوب البنية البلورية.
1. في إنتاج الرقاقات، سيؤثر عدد ونوع العيوب بشكل كبير على الخطوات اللاحقة. يمكن للتصوير الطوبولوجي للأشعة السينية (XRT) أن يلاحظ بوضوح العيوب والخلع على سطح الرقاقة (الشكل 1). مساعدة المنتجين على تحسين العملية ومراقبة الجودة.
الشكل 1: تصوير طوبولوجيا ناقل الحركة لرقاقة 4H-كذا
2. يمكن قياس تجانس الرقاقة أو الفيلم الفوقي بواسطةزردوظيفة منحنى التأرجح، ووحدة برامج التصور التي تقدمها ريجاكو يمكن أن تعطي أيضًا صور توزيع ثنائية الأبعاد، والتي يمكنها تقييم جودة السطح بشكل حدسي (الشكل 2).
الشكل 2: صورة ثنائية الأبعاد لفيلم آل ن ينمو على الركيزة الياقوتية
3. يمكن قياس سمك الفيلم عن طريق منحنى التأرجح عالي الدقة، وهو غير مدمر ودقيق للغاية (الشكل 3).
الشكل 3: منحنى التأرجح عالي الدقة لقياس سمك أفلام الجاليوم/إنكسجا(1-x)N
4. قد يكون هناك نوع من عدم تطابق الشبكة أثناء نمو الرقاقة أو الغشاء الفوقي، مما سيؤثر على جودة الفيلم. باستخدام أجهزة الكشف والحلول الخاصة بشركة ريجاكو، يمكن إجراء اختبار المساحة المتبادل على سمارت لاب، حيث لا تتطابق الشبكة وبلورييمكن رؤية الثوابت بشكل حدسي للغاية.
الشكل 4: الطيف المكاني المتبادل عالي الدقة لـ GaN105