حيود الأشعة السينية غالبًا ما تُستخدم هذه التقنية للكشف عن الجودة البلورية للرقائق والرقائق الفوقي. باستخدام تقنية القياس هذه، يمكن الحصول على معلومات مثل ثوابت الطور والشبكة، والبلورة، وكثافة التفكك، والإجهاد المتبقي، والتركيب والسمك. ويبين الشكل 1 الرسم التخطيطي لأدوات زرد التقليدية.
وفقا لطرق المسح المختلفة، يوضح الشكل 2 درجات حرية دوران مصدر الأشعة السينية والكاشف والعينة.زرد يحتوي الكشف على طرق القياس التالية:
(1)الثاني/أناالمسح، حيثأناعادة ما يكون نصف 2أنا. وهي أيضًا طريقة مسح شائعة الاستخدام لقياس زرد لعينات المسحوق، والمعروفة أيضًا بالمسح المتماثل أو المزدوج. بالنسبة لعينات الأفلام الرقيقة جدًا، يمكن تثبيت شعاع الأشعة السينية عند زاوية مسح صغيرة، ويتحرك الكاشف في اتجاه 2أنالجمع الإشارات. وتسمى طريقة الكشف عن الزاوية الصغيرة هذه أيضًا بالكشف عن حالات الرعي زرد. يمكن الحصول على بنية الطور وسلالة الإجهاد وحجم الحبوب للعينة بواسطة الأشعة السينيةالانحرافقمم الممسوحة ضوئيا بواسطة 2θ/ω.
(2) قياس الرسم البياني القطبي. المخطط القطبي دائري وعادةً ما يتم رسمه بإحداثيات قطبية بإحداثيات شعاعية&نبسب;أنا&نبسب;والإحداثيات الزاويةأنا. إنها مناسبة بشكل خاص لعينات نسيج السطح. في بعض الحالات، ليس من الضروري الحصول على مجموعة كاملة أو سلسلة من الصور القطبية ويمكن قياسها باستخدام مسح السمت،أنامسح. في هذا الوقت، يجب تحديد معلومات الاتجاه خارج الطائرة مسبقًا بمقدار 2أنا/أناالمسح الضوئي، ويمكن الحصول على المعلومات الداخلية للوجه البلوري عن طريق قياس صورة القطب أوأناالمسح الضوئي، وذلك لمزيد من الحكم على تماثل البلورة.
