ملحقات القياس المتكاملة متعددة الوظائف

ملحقات القياس المتكاملة متعددة الوظائف، التي طورتها شركة داندونغ تونغدا للتكنولوجيا المحدودة، هي وحدة متكاملة عالية الدقة مصممة خصيصًا لأجهزة قياس الزوايا واسعة الزاوية. تتيح هذه الوحدة تحليلًا شاملًا للأغشية الرقيقة على الصفائح والمواد السائبة والركائز من خلال ربط متعدد المحاور وتحكم ذكي، مما يسمح بتحديد دقيق للمعلمات الرئيسية، بما في ذلك تحديد الطور، وتوزيع الاتجاه، وتطور الملمس، وحقول الإجهاد المتبقية، وبنية الأغشية الرقيقة في المستوى.

المبادئ التقنية الأساسية والميزات الوظيفية لملحقات القياس المتكاملة متعددة الوظائف

اختبار شكل القطب ثنائي الوضع (النقل والانعكاس)

طريقة النقل مناسبة للعينات الشفافة أو ذات الطبقات الرقيقة (مثل الأغشية البوليمرية والطلاءات البصرية). تكتشف هذه الطريقة إشارات الحيود التي تخترق العينة للحصول على معلومات عن الاتجاه ثلاثي الأبعاد للحبيبات الداخلية.

تستهدف طريقة الانعكاس العينات عالية الامتصاص أو المعتمة (مثل الصفائح المعدنية المدلفنة، والركائز الخزفية). تحلل هذه الطريقة اتجاه مستوى البلورة عبر إشارات حيود السطح. يتيح الجمع بين الطريقتين إنشاء أشكال قطبية كاملة المساحة، مما يسمح بقياس دقيق لأنواع الملمس (مثل ملمس الألياف، وملمس الصفائح).

اختبار الإجهاد باستخدام طريقتي بسي (الميل الجانبي) وOmega (المقترن)

تحافظ طريقة أوميجا (المسح المقترن) على محاذاة متماثلة للكاشف ومصدر الأشعة السينية، مما يجعلها مناسبة لتحليل إجهاد السطح.

تتضمن طريقة بسي (الميل الجانبي) إمالة العينة لفصل تدرجات الإجهاد عن تشوهات الشبكة. وتُستخدم هذه الطريقة بشكل خاص في التحليل المتعمق لتوزيع الإجهاد في مواد التدرجات أو الأغشية متعددة الطبقات.

من خلال الجمع بين البيانات من كلتا الطريقتين، يمكن حساب الإجهادات المتبقية العيانية (على سبيل المثال، تلك الناتجة عن التشغيل الآلي أو المعالجة الحرارية)، مما يوفر أساس تقييم لمقاومة التآكل وخصائص مكافحة التعب.

تحليل البنية داخل المستوى للأغشية الرقيقة

يستخدم المسح المستمر للمحور β (الدوران داخل المستوى) من 0 درجة إلى 360 درجة لرسم اتجاهات الحبوب داخل مستوى الفيلم.

تم تصميم هذه الوظيفة خصيصًا لدراسات مطابقة الشبكة في الأغشية الرقيقة الطلائية والمواد ثنائية الأبعاد، مما يتيح تحليل علاقات اتجاه واجهة الوصلات غير المتجانسة وكثافة العيوب.

نظام تحديد المواقع الميكانيكية الدقيق

يستخدم نظام الحركة متعدد المحاور الخاص بملحقات القياس المتكاملة متعددة الوظائف أجهزة ترميز عالية الدقة والتحكم في الحلقة المغلقة لضمان تكرار البيانات ودقتها:

المحور ألفا (الإمالة): النطاق الديناميكي: من -45° إلى 90°، الحد الأدنى لحجم الخطوة: 0.001°. يدعم القياسات من سقوط الاحتكاك إلى حيود الزاوية العالية.

محور β (دوران في المستوى): دوران مستمر بزاوية 360 درجة، حجم الخطوة: 0.001 درجة. يُمكّن من مسح العينة باتجاه خالٍ من الزوايا الميتة.

المحور Z (الرفع الرأسي): نطاق الحركة: ٠-١٠ مم، الحد الأدنى لحجم الخطوة: ٠.٠٠١ مم. يستوعب عينات بسماكات متفاوتة (من الطلاءات النانوية الرقيقة إلى السبائك السائبة السميكة).

توافق العينة: يدعم عينات يصل حجمها إلى Φ100 مم مع ارتفاع قابل للتعديل، واستيعاب أشكال متنوعة من رقائق السيليكون إلى قطع العمل المخصصة.

مجالات تطبيق ملحقات القياس المتكاملة متعددة الوظائف

تقييم الملمس البلوري (الاتجاه المفضل) في الصفائح المعدنية المدلفنة وغيرها من المواد المعدنية؛

تحليل اتجاه البلورة في السيراميك؛

تقييم التوجه البلوري المفضل في عينات الأغشية الرقيقة؛

اختبار الإجهاد المتبقي في مختلف المواد المعدنية والسيراميكية (تقييم الخصائص مثل مقاومة التآكل وقابلية التصنيع وما إلى ذلك)؛

قياس الإجهاد المتبقي في الأفلام متعددة الطبقات (تقييم انفصال الفيلم، وما إلى ذلك)؛

تحليل طبقات الأكسيد أو النتريد السطحية على الأغشية الرقيقة للمواد الفائقة التوصيل عالية الحرارة، والألواح المعدنية، وما إلى ذلك؛

توصيف الطلاءات متعددة الطبقات على الزجاج أو السيليكون (سي) أو الركائز المعدنية (على سبيل المثال، الأغشية الرقيقة المغناطيسية، الطلاءات المعدنية المقواة على السطح)؛

تحليل المواد المطلية/المغطاة على البوليمرات والورق والعدسات وغيرها من الركائز.

https://www.تونغداكسرد.كوم/أخبار/داخل-داندونج-تونغدا-تكنولوجيا-كو-المحدودة