ملحقات قياس متكاملة متعددة الوظائف

تُعدّ ملحقات القياس المتكاملة متعددة الوظائف، التي طورتها شركة داندونغ تونغدا للعلوم والتكنولوجيا المحدودة، وحدة متكاملة عالية الدقة مصممة خصيصًا لأجهزة قياس الزوايا واسعة الزاوية. وهي تُمكّن من إجراء تحليل شامل للأغشية الرقيقة على الألواح والمواد الصلبة والركائز من خلال الربط متعدد المحاور والتحكم الذكي، مما يسمح بتحديد دقيق للمعايير الرئيسية بما في ذلك تحديد الطور، وتوزيع الاتجاه، وتطور النسيج، ومجالات الإجهاد المتبقي، وبنية الغشاء الرقيق في المستوى.

المبادئ التقنية الأساسية والخصائص الوظيفية لملحقات القياس المتكاملة متعددة الوظائف

اختبار شكل القطب ثنائي الوضع (الانتقال والانعكاس)

تُعدّ طريقة النقل مناسبة للعينات الشفافة أو ذات الطبقات الرقيقة (مثل أغشية البوليمر والطلاءات البصرية). فهي تكشف إشارات الحيود التي تخترق العينة للحصول على معلومات التوجيه ثلاثي الأبعاد للحبيبات الداخلية.

تستهدف طريقة الانعكاس العينات ذات الامتصاص العالي أو المعتمة (مثل الصفائح المعدنية المدرفلة، والركائز الخزفية). وتحلل هذه الطريقة اتجاه مستوى البلورة عبر إشارات حيود السطح. ويتيح الجمع بين الطريقتين إنشاء أشكال قطبية كاملة للفضاء، مما يسمح بالقياس الكمي الدقيق لأنواع النسيج (مثل نسيج الألياف، ونسيج الصفائح).

اختبار الإجهاد باستخدام طريقتي بسي (الميل الجانبي) وأوميغا (المقترنة).

تحافظ طريقة أوميغا (المسح المزدوج) على محاذاة متناظرة للكاشف ومصدر الأشعة السينية، مما يجعلها مناسبة لتحليل الإجهاد السطحي.

تعتمد طريقة بسي (الميل الجانبي) على إمالة العينة لفصل تدرجات الإجهاد عن تشوهات الشبكة البلورية. وهي مناسبة بشكل خاص للتحليل المتعمق لتوزيع الإجهاد في المواد المتدرجة أو الأغشية متعددة الطبقات.

من خلال الجمع بين البيانات من كلا الطريقتين، يمكن حساب الإجهادات المتبقية الكلية (مثل تلك التي تم إدخالها عن طريق التشغيل الآلي أو المعالجة الحرارية)، مما يوفر أساسًا لتقييم مقاومة التآكل وخصائص مقاومة الإجهاد.

تحليل بنية الأغشية الرقيقة في المستوى

تستخدم المسح المستمر للمحور β (الدوران في المستوى) من 0 درجة إلى 360 درجة لرسم خرائط اتجاهات الحبيبات داخل مستوى الفيلم.

تم تصميم هذه الوظيفة خصيصًا لدراسات مطابقة الشبكة في الأغشية الرقيقة المترسبة والمواد ثنائية الأبعاد، مما يتيح تحليل علاقات توجيه واجهة الوصلات غير المتجانسة وكثافة العيوب.

نظام تحديد المواقع الميكانيكي الدقيق

يستخدم نظام الحركة متعدد المحاور الخاص بملحقات القياس المتكاملة متعددة الوظائف أجهزة تشفير عالية الدقة ونظام تحكم ذي حلقة مغلقة لضمان تكرار البيانات ودقتها:

المحور α (الإمالة): النطاق الديناميكي: من -45° إلى 90°، الحد الأدنى لحجم الخطوة: 0.001°. يدعم القياسات من زاوية السقوط المائلة إلى حيود الزاوية العالية.

المحور β (الدوران في المستوى): دوران مستمر بزاوية 360 درجة، حجم الخطوة: 0.001 درجة. يُمكّن من مسح اتجاه العينة دون وجود زوايا ميتة.

المحور Z (الرفع الرأسي): نطاق الحركة: 0-10 مم، الحد الأدنى لحجم الخطوة: 0.001 مم. يستوعب عينات ذات سماكات مختلفة (من الطلاءات النانوية الرقيقة إلى السبائك السميكة).

توافق العينات: يدعم العينات التي يصل حجمها إلى Φ100 مم مع ارتفاع قابل للتعديل، مما يسمح باستيعاب أشكال متنوعة من رقائق السيليكون إلى قطع العمل المخصصة.

مجالات تطبيق ملحقات القياس المتكاملة متعددة الوظائف

تقييم النسيج البلوري (الاتجاه المفضل) في الصفائح المعدنية المدرفلة والمواد المعدنية الأخرى؛

تحليل اتجاه البلورات في السيراميك؛

تقييم اتجاه البلورات المفضل في عينات الأغشية الرقيقة؛

اختبار الإجهاد المتبقي في مختلف المواد المعدنية والسيراميكية (تقييم الخصائص مثل مقاومة التآكل، وقابلية التشغيل الآلي، وما إلى ذلك)؛

قياس الإجهاد المتبقي في الأغشية متعددة الطبقات (تقييم انفصال الأغشية، وما إلى ذلك)؛

تحليل طبقات الأكسيد أو النتريد السطحية على الأغشية الرقيقة للمواد فائقة التوصيل ذات درجة الحرارة العالية، والصفائح المعدنية، وما إلى ذلك؛

توصيف الطلاءات متعددة الطبقات على الزجاج أو السيليكون (Si) أو الركائز المعدنية (مثل الأغشية الرقيقة المغناطيسية، والطلاءات المعدنية المقواة السطح)؛

تحليل المواد المطلية/المغلفة على البوليمرات والورق والعدسات وغيرها من الركائز.

https://www.tongdaxrd.com/news/into-dandong-tongda-technology-co-ltd